Rõhuandur on omamoodi rõhuandur, mida saab rõhu mõõtmiseks kasutada terases, keemia- ja muudes põldudes ning võib koos rõhuregulaatoriga kasutada automaatse rõhu juhtimist.
Difusiooni räni rõhuandur /sissejuhatus põhimõttesse
Difusiooni ränirõhuandur põhineb piezoresistliku efekti põhimõttel, kasutades integreeritud protsessitehnoloogiat dopingu ja difusiooni kaudu, piki ühekristalli räni vahvli iseloomulikku kristallsuunda, et moodustada deforstitakistus, moodustades nisu silla. Kasutades silikoonmaterjali elastseid mehaanilisi omadusi, ja silikat on integreeritud silikooniga, on silikoon. Jõude tundmine ja jõuelektrilise muundamise tuvastamine on valmistatud.
Hajutatud räni rõhuanduri rõhk toimib otse anduri (roostevabast terasest või keraamilisest) diafragmast, põhjustades diafragma mikrokeskluse, mis on proportsionaalne söötme rõhuga, ja anduri resistentsusväärtus muutub. Elektrooniline vooluring tuvastab selle muutuse ja teisendab selle. Sellele rõhule vastav standardne mõõtmissignaal on väljund.
Difusiooni räni rõhuanduri omadused
1. Sobib väikesemahuliste saatjate valmistamiseks
Räni kiibi jõutundliku takisti piezoresistlikul mõjul pole nullpunkti lähedal asuvas madalas surnud tsooni ja rõhuanduri vahemik võib olla sama väike kui mitu kPa.
2. kõrge väljundi tundlikkus
Räni tüve takistuse tundlikkuse tegur on 50–100 korda suurem kui metalli deformatsioonimõõtur, seega on vastava anduri tundlikkus väga kõrge ja üldine vahemiku väljund on umbes 100 mV. Seetõttu pole liidese vooluringi jaoks erinõudeid ja seda on mugavam kasutada.
3. kõrge täpsus
Kuna anduri tundlik muundamine ja tuvastamine on sama komponendi abil realiseeritud, pole vahepealset teisendusühendust ning korratavuse ja hüstereesi vead on väikesed. Kuna monokristallilisel ränil endal on kõrge jäikus ja väike deformatsioon, tagatakse hea lineaarsus.
4. Kuna teose ühekordne deformatsioon on nii madal kui mikro-tüve järjekord, on elastse kiibi maksimaalne nihe alammikroni järjekorras, seega ei kuluta, väsimust, vananemist ja eluiga on nii pikk kui 1 x 107 survetsükkel, stabiilse jõudlusega ja kõrge usaldusväärsusega.
5. Räni suurepärase keemilise korrosioonikindluse tõttu on isegi isoleerimata hajutatud räni rõhuandurid võime erinevate söötmetega märkimisväärsel määral kohaneda.
6. Kuna kiib võtab vastu integreeritud protsessi ja sellel pole ülekandekomponente, on see väikese suuruse ja raskusega.
Difusiooni räni rõhuanduri ettevaatusabinõud kasutamiseks
1. Kui valitud on ülejääk või alamäär, tuleks amplituudi juhtida ± 30%FS piires.
2. Rõhurežiim jaguneb gabariidi rõhuks, absoluutseks ja tihendusrõhuks, mida saab vastavalt vajadustele mõistlikult valida.
3. kinnitage süsteemi maksimaalne ülekoormus. Süsteemi maksimaalne ülekoormus peaks olema väiksem kui anduri ülekoormuse kaitse piir, vastasel juhul mõjutab see toote kasutusaega ja kahjustab isegi toodet.
4. Ärge puudutage diafragmat raskete objektidega, vastasel juhul põhjustab see diafragma rebenemist.
5.Taane ja negatiivse rõhu südamiku valmistamise materjal ja protsess ei ole samad kui positiivne rõhk, seega ei saa negatiivset rõhu südamikku asendada gabariidi rõhu südamikuga.
6. Palun kontrollige kasutusjuhendit enne paigaldamist hoolikalt, et vältida vale paigaldamise põhjustatud toote kahjustusi.
7.Improperi kasutamine võib põhjustada ohtu ja isikukahjusid.
8.Sümitusi tõmmatakse korpusest välja ja juhtmed ja torude jalad on keelatud.
Difusiooni räni rõhuanduri rakendused
Difusiooni ränirõhuandureid kasutatakse peamiselt protsessi juhtimissüsteemides, rõhu kalibreerimisinstrumentides, hüdrosüsteemides, biomeditsiininstrumentides, hüdrosüsteemides ja ventiilides, vedeliku taseme mõõtmisel, jahutusseadmetes ja HVAC -i kontrollitööstuses. Võib öelda, et kõik kõrgete automatiseerimisnõuetega tööstused võivad kasutada hajutatud räni rõhuandureid.
Postiaeg: 5. august 201222